Зондовая станция предназначена для измерения электрических характеристик устройств на неразделенных полупроводниковых пластинах. Аппаратура позволяет выполнять достоверные измерения каждого компонента в процессе разработки и изготовления монолитных интегральных схем непосредственно на полупроводниковой пластине. Например, транзисторов, пассивных компонентов, элементов линий передачи.
Измерения помогают проверить, удовлетворяют ли изготовленные компоненты исходным требованиям, а также построить и верифицировать математические модели элементов интегральной схемы. Это, в свою очередь, позволяет сократить время выхода конечного изделия на рынок.
Аппаратура применяется в микроэлектронике, научно-образовательных центрах в технических вузов и способна заместить импортные аналоги. Оборудование имеет небольшие габариты, интуитивно понятное управление и позволяет проводить измерения электрических характеристик устройств на неразделенных полупроводниковых пластинах диаметром до 150 мм. Конструкция изделия обеспечивает возможность установки одновременно до четырех микропозиционеров, что гарантирует высокую точность измерений.
Зондовая станция «НИИПП» может входить в состав программно-аппаратного комплекса для автоматизации процесса измерения.
Зондовая станция разработанная томским НИИ полупроводниковых приборов впервые была представлена на форуме «ЭкспоЭлектроника-2022».
«Использование измерительных зондовых станций в микроэлектронике позволяет повысить точность характеристик выпускаемых изделий. Наше оборудование разработано в рамках программы импортозамещения и по своим техническим параметрам соответствует лучшим образцам производства США, Германии и Тайваня. Мы готовы к серийному производству оборудования, мощности предприятия позволяют выпускать до 30 единиц в год», – отметил генеральный директор НИИПП Евгений Монастырев.